TCO薄膜通电测试

一、背景概述

TCO薄膜是一类特殊材料和工艺的镀膜，它主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比，氧化物透明导电膜不仅导电性好，而且还像玻璃一样具有高的透明性，所以，可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。

这种氧化物透明导电薄膜用途十分广泛，它的主要用途有：

• 显示器件中的电极材料。

• 防静电，防电磁屏蔽层。为了防止静电，必须使方阻小于109Ω。

• 面发热体。SnO2薄膜的电热转换效率在90%以上，通电后立即产生热效应。

• 热反射膜。SnO2和ITO薄膜在红外部分的反射率可达到80%以上。

• 太阳能电池。(1) SIS异质结太阳能电池；(2) 太阳能电池的减反射膜。

• 薄膜电阻器。

• 气敏传感器。现已能探测甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘。

• 终端设备。用透明导电薄膜制作薄膜开关。

• 汽车玻璃。

用FOTRIC热像仪进行测试（配备50μm微距镜头）

TCO薄膜的主要技术指标有光谱透过率、导电性能、雾度以及激光刻蚀性能。其中，在薄膜电池的制作过程中，需要将表面划分成多个长条状的电池组，这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此，TCO玻璃在镀半导体膜之前，必须要对表面的导电膜进行刻划，被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层，以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。

二、客户需要解决什么问题

•  研发人员需要验证这类薄膜的印刷质量和刻蚀工艺

• 是否存在断裂、粘连等问题

其中白框内两线间距为50微米

三、当前有哪些解决方案及其弊端

对TCO薄膜通电，测试刻蚀质量。采用测试温度的方式测量，如果出现粘连或断裂会出现不同的温度变化。

热电偶与数采

• 使用热电偶测温准确，但是由于电池组较细，而且间距只有50微米宽，没有办法很好的粘贴

• 热线偶可能会导致通电时电路

• 只能测量点或几个点的温度，没有办法找到整个薄膜上刻蚀的线断裂部位或短路部位

• 破坏了器件本身的热场分布，尤其是小尺寸元器件；

• 热电偶有温度惯性，采集的温度和实际温度有滞后。

红外测温枪

• 红外测温枪使用方便，但问题也很多：

• 没有办法精确找到测量的部位，不能同时测试多个点；

• 不能直观看到问题点；

• 被测部位很小，温度会被平均。

四、产品如何帮助客户解决该问题及优势

• 对TCO薄膜通电，然后采用Fotric 226搭配50微米微距镜观看温度变化，如果出现粘连可以看到高温点，如果出现断裂会有线路温度较低。

• FOTRIC科研热像仪单张热像图即采集110592个温度值，可以直观看到问题点，高效率无盲区的查找问题。

• FOTRIC科研热像仪可连接电脑，配合AnalyzIR专业软件变身为在线热像仪，而且搭配Fotric B1实验台测温更稳定。